MFM-A款氣體(tǐ)質(zhì)量流量計是采用(yòng)MEMS工(gōng)藝的氣體(tǐ)質(zhì)量敏感元件,具(jù)有(yǒu)精(jīng)确的溫度補償,以及對壓力、留宿舍進行微電(diàn)腦的線(xiàn)性處理(lǐ),能(néng)精(jīng)确的計量氣體(tǐ)質(zhì)量流量,同時能(néng)顯示即時流量和總流量。是目前對溫度、壓力、流速進行全方位自定補償的高性能(néng)氣體(tǐ)質(zhì)量傳感器。
本産(chǎn)品采用(yòng)LED屏,雙色顯示,可(kě)以轉換顯示方向和顔色。流量量程比100:1。常規流量範圍為(wèi):0.2-20L/min、0.6-60L/min、1-100L/min、2-200L/min;200L/min以上量程都可(kě)定制。
産(chǎn)品信息
1.标準:國(guó)标
2.精(jīng)度:±1.5%
3.工(gōng)作(zuò)壓力:≤1MPa
4.信号輸出:RS-485信号
5.電(diàn)源:100-220V 50-60Hz
6.流量顯示位數:實時4位 累計6位
7.分(fēn)辨率:實時0.01L/min 累計0.001m³
8.适用(yòng)介質(zhì):幹燥空氣、N2、Ar、CO2、O2
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